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石英玻璃气体扩散与渗透性能 由于石英玻璃网络结构中有很多不规则的空隙，使许多气体有可能进行扩散和渗透，特点是原子直径比较小的气体如氦、氖、氢等在石英玻璃中渗透性比较大，而氮、氧等原子比较大,活度比较小的气体，即使在600-700oC温度下，在石英玻璃中渗透扩散是较低的，故石英玻璃可作10-5-10-6mmHg负压和加热情况下的操作器皿，可用在高温真空设备中。
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透明石英玻璃
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不透明石英玻璃
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Na+
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2×10-4
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5×10-5
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Ca2+
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2×10-8
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Al3+
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<10-12
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<10-12
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Ag+
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<10-5
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<10-7
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| 注：在1100oC下的扩散系数（单位为：cm2/秒） |
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20
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900
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透明石英玻璃
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3.7×10-6
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7.0×10-6
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不透明石英玻璃
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1.0×10-5
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7.4×10-6
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石英玻璃的透气常数K（×10-10cm3.mm/秒.cm2）
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气体
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透气常数K
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200oC
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400oC
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600oC
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700oC
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800oC
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900oC
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1000oC
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氦
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1.39
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6.15
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16.4
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21.9
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28.5
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36.2
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45.4
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氢
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0.022
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0.37
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1.43
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2.52
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4.25
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6.40
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10.00
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重氢
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17
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氖
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2.8
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4.2
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氩
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<10-15
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氧
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<10-15
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氮
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<10-15
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产品质量检测执行标准：
GB9657-88 半导体用透明石英玻璃； GB9658-88 光源及真空仪表用透明石英玻璃 |
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机械性能
